书目详细信息
： Wafer fabrication-automated material handling systems =
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN： | 978-7-5680-4787-6 |
|---|---|
| 编目源： | HBSX HBSX |
| 个人名称： | Zhang, Jie |
| 题名： | Wafer fabrication-automated material handling systems = 晶圆制造自动化物料运输系统调度 / Jie Zhang, Wei Qin, Lihui Wu, Junliang Wang, Youlong Lv, Xiaoxi Wang. |
| 出版发行项： | 武汉 武汉科技大学出版社 2018 |
| 载体形态： | 272 pages : illustrations ; 25 cm |
| 书目附注： | Includes bibliographical references and index. |