书目详细信息
： 微纳加工技术与应用案例
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5763-4727-2:CNY68.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳加工技术与应用案例/.谢会开，许冰，尹红星主编 |
| 出版发行项： | 北京:,北京理工大学出版社:,2025 |
| 载体形态项： | 256页, [5] 页图版:;+图 (部分彩图):;+26cm |
| 提要文摘： | 本书内容覆盖微纳加工技术与应用综述, 紫外曝光技术、电子東曝光技术、反应离子刻蚀技术、电子封装技术等微纳加工技术, 以及扫描电子显微镜、椭圆偏振仪等表征技术。 |
| 并列题名： | Micro-nanofabrication technologies and application cases eng |
| 题名主题： | 特种加工 技术 |
| 中图分类： | TG66 |
| 个人名称等同： | 谢会开 主编 |
| 个人名称等同： | 许冰 主编 |
| 个人名称等同： | 尹红星 主编 |
| 记录来源： | CN SDL 20251028 |