书目详细信息
： 太赫兹行波管高频电路及其微制造技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5124-4359-4:CNY39.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 太赫兹行波管高频电路及其微制造技术/.马天军编著 |
| 出版发行项： | 北京:,北京航空航天大学出版社:,2024 |
| 载体形态项： | 122页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书着重对0.1THz、0.22THz、0.3THz和1.03THz折叠波导高频结构及其微细制造方法进行了阐述。对0.1THz折叠波导采用超精密电火花线切割技术和LIGA技术来进行制造; 对于0.22THz折叠波导及其集成级联结构采用UV-LIGA技术来制造; 对于0.3THz折叠波导则采用LIGA工艺来制造; 对于1.03THz折叠波导高频结构采用DRIE技术来制造。针对不同的制造方法, 分别设计了具体的实施方案。本书对微细制造工艺过程中的关键工艺技术进行了描述。 |
| 题名主题： | 高频 电子电路 |
| 中图分类： | TN710.6 |
| 个人名称等同： | 马天军 编著 |
| 记录来源： | CN BWZ 20250612 |