书目详细信息
： 集成电路工艺实验
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5770-1376-3:CNY42.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 510000 |
| 题名责任者项： | 集成电路工艺实验/.谭永胜, 方泽波主编 |
| 出版发行项： | 成都:,电子科技大学出版社:,2025 |
| 载体形态项： | 99页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书按一个完整的半导体集成电路工艺过程工艺作用来讲述, 将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的实验项目。学生真正掌握了这些实验的方法, 熟悉各大型设备的实际操作, 即可在工艺线上单独流片, 制造出合格的、结构较简单的集成电路芯片。 |
| 题名主题： | 集成电路工艺 实验 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TN405-33 |
| 个人名称等同： | 谭永胜 主编 |
| 个人名称等同： | 方泽波 主编 |
| 记录来源： | CN BWZ 20250612 |